如果采用机械粉碎法生产碳化硅微粉,主要会用于的设备有搅拌磨机,振动磨机,辊式磨粉机,气流磨粉机及球磨机等。传统的球磨机应用较早,稳定性好,但效率低,能耗大,且不容易得到很细的碳化硅微粉,加工的碳化硅微粉粒径分布范围较宽,增加了分级难度。振动磨机粉碎效果还可以,但其能耗较高,工作时噪音大,细磨碳化硅等硬质材料时设备磨损严重。气流磨生产效率较高,生产能力较小,工艺简单,但难以生产5um以下的碳化硅微粉,喷嘴非常容易磨损,设备投资大。而辊式磨机具有处理量大,工作可调,碳化硅微粉的粒度便于调节。
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